SECS Host/Equipmemt Åë½Å µå¶óÀ̹ö

 

SECS Host/Equipmemt Åë½Åµå¶óÀ̹ö´Â Semiconductor Equipment Communication Standard Ç¥ÁØ ÇÁ·ÎÅäÄÝ·Î Åë½ÅÀ» À§ÇÑ µå¶óÀ̹öÀÌ´Ù.

 

ÁÖÀÇ) SECS Host/Equipmemt Åë½Åµå¶óÀ̹ö´Â 0 ~ 127ÀÇ Stream °ú 0 ~ 255ÀÇ Function ¸Þ½ÃÁö°¡ ÀÖ´Ù.

°¢ Stream.Function¿¡ ´ëÇÑ Àü¼Û µ¥ÀÌÅÍ Çü½ÄÀº ¿É¼Ç ºÎÀÇ ¿¡µðÅÍ·Î ÀÛ¼ºÇÏ¿© »ç¿ëÇÑ´Ù.(3¹ø Ç׸ñ Àü¼Û ¸Þ½ÃÁö ÆíÁý±â ºÎºÐ ÂüÁ¶)

 

1. Àб⠼³Á¤

<±×¸² 1>Àº SECS Host/Equipmemt Åë½Å µå¶óÀ̹ö·Î 'Serial Protocol' À» »ç¿ëÇÒ ¶§ÀÇ Åë½ÅÆÄÀÏ ÆíÁý ¿¹ÀÌ°í <±×¸² 2>´Â SECS Host/Equipmemt Åë½Å µå¶óÀ̹ö·Î 'HSMS Protocol' À» »ç¿ëÇÒ ¶§ÀÇ Åë½ÅÆÄÀÏ ÆíÁý ¿¹ÀÌ´Ù. 

<±×¸² 1> SECS Host/Equipmemt Åë½Å µå¶óÀ̹ö·Î 'Serial Protocol' À» »ç¿ëÇÒ ¶§ÀÇ Åë½ÅÆÄÀÏ ÆíÁý ¿¹

 

<±×¸² 1>¿¡¼­ DEVICE´Â Åë½ÅÆ÷Æ®(COM7), Åë½Å¼Óµµ(9600), Æи®Æ¼ ºñÆ®(0), µ¥ÀÌÅÍ ºñÆ®(8), Á¤Áö ºñÆ®(1), ¼øÀ¸·Î Àåºñ¿¡ ¼³Á¤µÈ °ªÀ» ÀÔ·ÂÇÑ´Ù.

¶ÇÇÑ ÇÁ·ÎÅäÄÝ ¿É¼ÇºÎ¿¡´Â 'Host/Equip Mode' ¼³Á¤(0 : Host, 1 : Equip, ±âº» = 0), 'Connection Protocol' ¼³Á¤(0 : Serial, 1 : HSMS, ±âº» = 0), 'Link Test Period'(2 ~ 10000 ÃÊ :, ±âº» = 10), 'Resolve ENQ Contention' »ç¿ë¿©ºÎ(0 : »ç¿ë¾ÈÇÔ, 1 :»ç¿ë, ±âº» = 1), ÀÀ´ä OK ½ÅÈ£ »ç¿ë¿©ºÎ(0 : »ç¿ë¾ÈÇÔ, 1 : »ç¿ë, ±âº» = 0), ÀÀ´ä OK ½ÅÈ£¸¦ À§ÇÑ WORD ¸Þ¸ð¸® ¹øÁö(0 ~ 65535, ±âº» = 2000), ÀÀ´ä OK ½ÅÈ£ ´ë±â ½Ã°£ÃÊ°ú(100 ~ 10000 mSec, ±âº» : 2000)¸¦ ÄÞ¸¶( , )·Î ±¸ºÐÇÏ¿© ÀÔ·ÂÇÑ´Ù.

Serial Protocol À» »ç¿ëÇÒ °æ¿ì ÇÁ·ÎÅäÄÝ ¿É¼Ç ºÎÀÇ 2¹ø ° ÀÎÀÚ(Connection Protocol ¼³Á¤)´Â '0'À¸·Î ¼³Á¤ÇÏ°í 'Host/Equip Mode' ¿Í 'Resolve ENQ Contention' »ç¿ë¿©ºÎ¸¦ ¼³Á¤ÇØ¾ß ÇÑ´Ù.

<±×¸² 2> SECS Host/Equipmemt Åë½Å µå¶óÀ̹ö·Î 'HSMS Protocol' À» »ç¿ëÇÒ ¶§ÀÇ Åë½ÅÆÄÀÏ ÆíÁý ¿¹

 

<±×¸² 2>¿¡¼­ DEVICE´Â µð¹ÙÀ̽º Á¾·ù(TCP/IP), Åë½ÅÇÒ Àåºñ ¶Ç´Â HostÀÇ IP ¹øÁö(192.168.1.46), ¼­ºñ½º Æ÷Æ®(5000) ¼øÀ¸·Î ÀÔ·ÂÇÑ´Ù.

HSMS Protocol À» »ç¿ëÇÒ °æ¿ì ÇÁ·ÎÅäÄÝ ¿É¼Ç ºÎÀÇ 2¹ø ° ÀÎÀÚ(Connection Protocol ¼³Á¤)´Â '1'·Î ¼³Á¤ÇÏ°í 'HSMS ProtocolÀÇ Link Test Period'¸¦ ¾Ë¸ÂÀº °ªÀ¸·Î ÀÔ·ÂÇØ¾ß ÇÑ´Ù.

 

 

SECS Host/Equipmemt Åë½Åµå¶óÀ̹öÀÇ Àбâ ÀÛ¼º Çü½Ä

SECS Host/Equipmemt Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àбâ Çü½ÄÀº ´ÙÀ½°ú °°Àº ÀÎÀÚ ¼øÀ¸·Î »ç¿ëÇÑ´Ù.

1) STATION – 0 ~ 32767 »çÀÌÀÇ Host ¶Ç´Â Equipment Address ¹øÈ£¸¦ ÀÔ·Â.

2) Stream.Function No – x.y Çü½Ä. (x = 0 ~ 127 ÀÇ Stream no., y = 0 ~ 255 ÀÇ Function no.)

3) ÀÐÀ» ÁÖ¼Ò – »ç¿ë¾ÈÇÔ.  0À¸·Î ¼³Á¤.

4) ¸Þ¸ð¸® ÀúÀå À§Ä¡ – Àоî¿Â »óÅ°ªÀ» ÀúÀåÇÒ Åë½Å¸Þ¸ð¸® ½ÃÀÛ¹øÁö¸¦ ÀÔ·Â.

5) Àд ũ±â – Çѹø¿¡ Àоî¿Ã µ¥ÀÌÅÍ °³¼ö. 1 ·Î ¼³Á¤.

6) ÁÖ±âÀûÀÎ Àб⠽𣠖 ÁÖ±âÀûÀÎ Àб⠻ç¿ë ½Ã = 1 ~ 6,000,000 mSec(1,000 = 1ÃÊ), ¹Ì »ç¿ë = 0 À¸·Î ÀÔ·Â.

 

Àб⠼³Á¤ ¿¹)

READ, 1, 1.1, 0, 0, 1, 0,
READ, 1, 1.2, 0, 5, 1, 0,
READ, 1, 1.11, 0, 10, 1, 0,
READ, 1, 1.12, 0, 15, 1, 0,
READ, 1, 9.1, 0, 25, 1, 0,

 

¸¸¾à SECS Host ¶Ç´Â Equipmemt ·Î ºÎÅÍ ÁÖ±âÀûÀ¸·Î ƯÁ¤ÇÑ Stream.Function¿¡ ´ëÇÑ Àб⸦ »ç¿ëÇÏ·Á¸é Àбâ ÀÛ¼º Çü½ÄÀÇ 6¹ø ° Ç׸ñÀ» 1 ~ 6,000,000 »çÀÌ °ªÀ¸·Î ÀÔ·ÂÇÑ´Ù.

 

SECS Host/Equipmemt Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ ÀÐÀº °ªÀº WORD/DWORD/FLOAT/DOUBLE/INT64 ¸Þ¸ð¸®¿¡ ÀúÀåÇÏ°í ÀÐÀº °ªÀÌ ¹®ÀÚ¿­ÀÏ °æ¿ì¿¡´Â STRING ¸Þ¸ð¸®¿¡ µ¿ÀÏÇÑ °ª(ÀúÀåÇü½Ä¸¸ ´Ù¸§)À» ÀúÀåÇÑ´Ù.

<±×¸² 1> ¶Ç´Â <±×¸² 2> ÇÁ·ÎÅäÄÝ ¿É¼ÇºÎÀÇ  ¾ÆÀÌÄÜÀ» Ŭ¸¯Çϸé <±×¸² 3>ÀÇ ´ëÈ­»óÀÚ°¡ ³ªÅ¸³ª´Âµ¥ ¿©±â¼­µµ Àбâ Çü½ÄÀ» ÀÛ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

<±×¸² 3> SECS Host/Equipmemt Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ ¿É¼Ç ´ëÈ­»óÀÚÀÇ ¿¹

 

<±×¸² 3>ÀÇ , ,  ¹öÅÏ°ú ¸®½ºÆ® ¹Ú½º¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© Àбâ Çü½ÄÀ» ÀÛ¼ºÇÑ´Ù.

<±×¸² 3>ÀÇ 'Host/Equip Mode', 'Connection Protocol', 'Link Test Period', 'Resolve ENQ Contention', 'Response packet' ¿µ¿ª¿¡¼­ Host/Equip ¸ðµå, ¿¬°á Protocol Çü½Ä, , ÀÀ´ä OK ½ÅÈ£ »ç¿ë¿©ºÎ(0 : »ç¿ë¾ÈÇÔ, 1 : »ç¿ë, ±âº» = 0), ÀÀ´ä OK ½ÅÈ£¸¦ À§ÇÑ WORD ¸Þ¸ð¸® ¹øÁö, ÀÀ´ä OK ½ÅÈ£ ´ë±â ½Ã°£ÃÊ°ú(100 ~ 5000 mSec, ±âº» : 2000) µîÀ» ¼³Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

<±×¸² 4> SECS Host/Equipmemt µå¶óÀ̹öÀÇ Åë½Å Àб⠼³Á¤ Ãß°¡/ÆíÁý ´ëÈ­»óÀÚÀÇ ¿¹

 

<±×¸² 4>´Â <±×¸² 3>ÀÇ ´ëÈ­»óÀÚ¿¡¼­ Àб⠽ºÄÉÁìÀ» Ãß°¡ ¶Ç´Â ÆíÁýÇÒ ¶§ ³ªÅ¸³ª´Â ´ëÈ­»óÀÚÀÌ´Ù.

 

 

2. ¾²±â ¼³Á¤

¾²±â ¼³Á¤À¸·Î ƯÁ¤ÇÑ Stream.Function ¸Þ½ÃÁö¸¦ Host ¶Ç´Â Equipment Ãø¿¡ Àü¼ÛÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

 

µðÁöÅÐ ¾²±â

µðÁöÅÐ ¾²±â´Â ¾Æ³¯·Î±× ¾²±â¿Í ¼³Á¤ °ªÀº µ¿ÀÏÇÏ°í Ãâ·Â °ª¸¸ ´Ù¸£°Ô ¼³Á¤ÇÑ´Ù.

 

 

¾Æ³¯·Î±× ¾²±â

TAG ¼³Á¤ ½Ã ÇÊ¿äÇÑ ¼³Á¤ 5 °¡Áö

1) PORT : Àåºñ¿¡ ¿¬°áµÈ PORT ¹øÈ£. 

2) STATION : 0 ~ 32767 »çÀÌÀÇ Host ¶Ç´Â Equipment Address ¹øÈ£¸¦ ÀÔ·Â.

3) ADDRESS :  »ç¿ë¾ÈÇÔ.

4) EXTRA 1 :  x.y.z Çü½Ä. (x = 0 ~ 127 ÀÇ Stream no., y = 0 ~ 255 ÀÇ Function no., z = 0 ~ 31 ÀÇ Ceid no.(±âº» = 0))

5) EXTRA 2 : »ç¿ë¾ÈÇÔ.

 

¼³Á¤ ¿¹1)

PORT:0,  station:1, ADDRESS:0000,  Extra1: 1.11, Extra : 0 À̶ó°í ¼³Á¤ÇÏ°í ¾Æ³¯·Î±× Ãâ·ÂÀ» Çϸé Àü¼Û ¸Þ½ÃÁö ÆíÁý±â¿¡¼­ ¼³Á¤ÇÑ µ¥ÀÌÅÍ Çü½ÄÀ¸·Î 1.11 Stream.Function ¸Þ½ÃÁö¸¦ Host ¶Ç´Â Equipmemt¿¡ Àü¼ÛÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

 

¼³Á¤ ¿¹2)

PORT:0,  station:1, ADDRESS:0000,  Extra1: 1.13, Extra : 0 À̶ó°í ¼³Á¤ÇÏ°í ¾Æ³¯·Î±× Ãâ·ÂÀ» Çϸé Àü¼Û ¸Þ½ÃÁö ÆíÁý±â¿¡¼­ ¼³Á¤ÇÑ µ¥ÀÌÅÍ Çü½ÄÀ¸·Î 1.13 Stream.Function ¸Þ½ÃÁö¸¦ Host ¶Ç´Â Equipmemt¿¡ Àü¼ÛÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

 

 

ºí·Ï ¾²±â

SECS Host/Equipmemt Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ ºí·Ï¾²±â´Â Áö¿øÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.

 

 

3. SECS Host/Equipmemt µå¶óÀ̹öÀÇ Àü¼Û ¸Þ½ÃÁö ÆíÁý±â

SECS Ç¥ÁØ ÇÁ·ÎÅäÄÝÀº °¢ Stream.Function º°·Î ÁöÁ¤µÈ ¸Þ½ÃÁö µ¥ÀÌÅ͸¦ ¼³Á¤ÇØ¾ß ÇÑ´Ù.

SECS Host/Equipmemt Åë½Å µå¶óÀ̹ö´Â °¢ Åë½Å Æ÷Æ®º°·Î Stream.Function ¸Þ½ÃÁö µ¥ÀÌÅ͸¦ µû·Î ÀÛ¼ºÇϵµ·Ï ¼³°èµÇ¾î ÀÖ´Ù.

ÇϳªÀÇ Åë½Å Æ÷Æ®¿¡´Â ÃÖ´ë 256°³ÀÇ Stream.Function ¸Þ½ÃÁö µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀÔ·ÂÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

 

 

SECS Host/Equipmemt Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àü¼Û ¸Þ½ÃÁö ÆíÁý±âÀÇ »ç¿ë¹ý

<±×¸² 3>ÀÇ ¹öÅÏÀ» ´©¸£¸é <±×¸² 5>ÀÇ Àü¼Û ¸Þ½ÃÁö ÆíÁý±â ´ëÈ­»óÀÚ°¡ ¿­¸°´Ù.

<±×¸² 5> SECS Host/Equipmemt µå¶óÀ̹öÀÇ Àü¼Û ¸Þ½ÃÁö ÆíÁý±â ´ëÈ­»óÀÚÀÇ ¿¹

 

<±×¸² 5>ÀÇ ¿ÞÂÊ Stream/Function Data '¸®½ºÆ® ¹Ú½º'¿¡¼­ ÆíÁýÇÒ Stream.FunctionÀ» ¸¸µç ÈÄ ¿À¸¥ ÂÊ 'Æ®¸® ¹Ú½º'¿Í  'ÅÂ±× ¸®½ºÆ®', ¹öÅÏ µîÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¸Þ½ÃÁö µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀÛ¼ºÇÑ´Ù.

<±×¸² 6>Àº Àü¼Û ¸Þ½ÃÁö ÆíÁý±âÀÇ  Stream.Function Ãß°¡/ÆíÁý ´ëÈ­»óÀÚÀÇ ¿¹ÀÌ°í <±×¸² 7> »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Item Çü½ÄÀÇ ¿¹ÀÌ´Ù.

<±×¸² 6> Àü¼Û ¸Þ½ÃÁö ÆíÁý±âÀÇ Stream.Function Ãß°¡/ÆíÁý ´ëÈ­»óÀÚÀÇ ¿¹
<±×¸² 7> Àü¼Û ¸Þ½ÃÁö ÆíÁý±â¿¡¼­ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Item Çü½ÄÀÇ ¿¹

 

Àü¼ÛÇÒ µ¥ÀÌÅÍ°¡ °¨½Ã ÇÁ·Î±×·¥ÀÇ ÇöÀç °ªÀÏ ¶§´Â 'ÅÂ±× ¸®½ºÆ®', 'ÅÂ±× Å¸ÀÔ ¼±Åà Radio ¹öÅÏ', 'Tag Value Add'(¶Ç´Â ¼±ÅÃÇÑ Tag¸¦ ´õºí Ŭ¸¯) À¸·Î '\$AI_0001' °ú °°Àº Çü½ÄÀ¸·Î 'Item Value'¿¡ ÀÔ·ÂÇÑ´Ù.

 ¼±ÅÃÇÑ Å±×ÀÇ Á¾·ù°¡ 'Analog Input', 'Analog Output', 'Digital Input', 'DigitalOutput' ÀÌ¸é ¼³Á¤ÇÑ Å±×ÀÇ ÇöÀç °ªÀ» ½ÇÁ¦ Åë½Å¿¡¼­´Â º¸³½´Ù. 

¶ÇÇÑ Å±×ÀÇ Á¾·ù°¡ 'String Tag' ÀÌ°í Item Çü½ÄÀÌ ASCII ¶Ç´Â JIS À̸é ÁöÁ¤ÇÑ ¹®ÀÚ¿­ ű×ÀÇ ¹®ÀÚ¿­ °ªÀ» º¸³¾ °ÍÀÌ´Ù.

 

ÁÖÀÇ) SECS ÇÁ·ÎÅäÄÝÀÇ ½ÇÁ¦ Àü¼ÛµÉ ¸Þ½ÃÁö µ¥ÀÌÅÍ´Â LIST ÇϺο¡ ¶Ç ´Ù¸¥ LIST ¸¦ »ðÀÔÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

±×·¯³ª ³ª¸ÓÁö µ¥ÀÌÅÍ ItemÀº ÇϺΠµ¥ÀÌÅ͸¦ °¡Áú ¼ö ¾ø°í Çϳª ¶Ç´Â ¿©·¯ °³(¹è¿­)ÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¸ »ðÀÔÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

¶ÇÇÑ ASCII ¿Í JIS Item Àº ¹®ÀÚ¿­À» µ¥ÀÌÅ͸¦ ¼Û,¼ö½ÅÇÒ ¶§ »ç¿ëÇÑ´Ù.